Tüm yarı iletken endüstri zincirinde, işleme ve üretim en önemli bağlantılardan biridir. Bu kadar büyük bir pazarla, yarı iletken proses ekipmanı, yarı iletken büyük ölçekli üretim için üretim temelini sağlar. Bu makale, yarı iletken üretim sürecinde ana ekipmanın ne olduğuna odaklanacaktır.
1, tek kristal fırın
Ekipman fonksiyonu: yarı iletken malzemeleri eritin, tek kristal çekin, sonraki yarı iletken cihaz üretimi için, tek kristal yarı iletken kütük sağlayın.
Başlıca uluslararası markalar: PVA TePla AG (Almanya), Ferrotec (Japonya), QUANTUM DESIGN (ABD), Gero (Almanya), KAYEX (ABD).
Büyük yerli markalar: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi 'an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi 'an Huade, 48th Institute of China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Gaz faz epitaxial fırın
Ekipman fonksiyonu: gaz fazı epitaksiyel büyümesi için özel proses ortamı sağlamak, tek kristal üzerinde tek kristal kristal fazı ile karşılık gelen ilişkiye sahip ince tabaka kristallerinin büyümesini gerçekleştirmek ve tek kristal batmasının işlevsel olarak gerçekleştirilmesi için temel hazırlığı yapmak. Gaz fazı epitaxy, büyüme ince tabakasının kristal yapısının tek kristal substratın devamı olduğu ve substratın kristal yönüne karşılık geldiği özel bir kimyasal buhar biriktirme işlemidir.
Başlıca uluslararası markalar: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Applied Materials.
Büyük yerli markalar: Çin Elektronik Teknoloji Grubu 48th Institute, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Malzeme Technology Co, LTD., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Moleküler ışın epitaxy sistemi
Ekipman fonksiyonları: Moleküler ışın epitaxy sistemi, filmi alt yüzeyde özele göre büyütmek için proses ekipmanı sağlar; Moleküler ışın epitaxy (MBEA), tek kristal ince filmler hazırlamak için kullanılan bir tekniktir. Uygun substrat ve uygun koşullar altında alt tabakanın kristal ekseni boyunca ince filmleri katman katman büyütmek için kullanılır.
Başlıca uluslararası markalar: Riber (Fransa), Veeco (ABD), DCA Instruments (Finlandiya), SVTAssociates (ABD), NBM (ABD), Omicron (Almanya), MBE-Komponenten (Almanya), Oxford Applied (UK) Research (OAR) şirketi.
Büyük yerli markalar: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Oksidasyon fırını (VDF)
Ekipman fonksiyonu: Yarı iletken malzeme oksidasyon işlemi için, gerekli oksidasyon atmosferini sağlayın, yarı iletken oksidasyon arıtma işleminin beklenen tasarımını elde etmek için, yarı iletken işleme sürecinde vazgeçilmez bir bağlantıdır.
Büyük uluslararası markalar: İngiltere Thermco Company, Almanya Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG şirketi.
Büyük yerli markalar: Pekin Yedi Yıldız Huaxuang, Qingdao Freunde, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48th enstitüsü, Qingdao Xuguang Enstrüman Ekipmanları A.Ş., LTD., Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45th Enstitüsü.
5. Düşük Basınçlı Kimyasal Buhar Biriktirme Sistemi (LPCVD)
Ekipman fonksiyonu: Filmin unsurlarını oluşturan gaz veya sıvı reaksiyon maddesini içeren buhar ve reaksiyon için gerekli diğer gazlar LPCVD ekipmanının reaksiyon odasına sokulur ve film substrat yüzeyinde kimyasal reaksiyon ile üretilir.
Büyük uluslararası markalar: Hitachi International Electric Company,
Büyük yerli markalar: Shanghai Chijian Yarı İletken Technology Co, LTD., Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48th Enstitüsü, Çin Elektronik Teknoloji Grubu 45th Enstitüsü, Pekin Enstrüman Fabrikası, Şanghay Makine Fabrikası.
6. Plazma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme Sistemi (PECVD)
Ekipman fonksiyonu: biriktirme odasında kızdırma deşarjı kullanın, iyonize edin ve yarı iletken ince film malzemesini biriktirmek için substrat üzerinde kimyasal reaksiyon gerçekleştirin.
Başlıca uluslararası markalar: Proto Flex (ABD), Tokki (Japonya), Shimadsu (Japonya), Lam Research (ABD), ASM International (Hollanda).
Büyük yerli markalar: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45th Enstitüsü, Pekin Enstrüman fabrikası, Şanghay Makine Fabrikası.
7. Magnetron Sputtering Tablası (MSA)
Ekipman fonksiyonları: bipolar sputtering hedef yüzeye paralel kapalı bir manyetik alan ve hedef yüzeyde oluşan ortogonal elektromanyetik alan aracılığıyla, ikincil elektron yüksek iyon yoğunluğu ve yüksek enerji iyonizasyonu elde etmek için hedef yüzeyin belirli alanına bağlanır ve hedef atomlar veya moleküller bir film oluşturmak için yüksek oranlı sputtering ile alt tabaka üzerinde biriktirilir.
Büyük uluslararası markalar: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, Platit company, Balzers company ve Cemecon company.
Büyük yerli markalar: Pekin Enstrüman Fabrikası, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co, LTD., Çin Elektronik Teknoloji Grubu 48th Institute, Kerui Equipment Co., LTD., Şanghay Makine Fabrikası.
8. Kimyasal Mekanik Parlatma Makinesi (CMP)
Ekipman fonksiyonu: mekanik taşlama ve kimyasal sıvı çözünmesi yoluyla kombine etkinin "korozyonu", lapped (yarı iletken) parlatma.
Büyük uluslararası markalar: Uygulamalı Malzemeler, Norfa Systems, Rtec.
Büyük yerli markalar: Lanzhou Lanxin Yüksek teknoloji Industry Co, LTD., Alite Microelectronics.
9, litografi makinesi
Cihaz fonksiyonu: yarı iletken substratın (silikon gofret) yüzeyine eşit şekilde yapıştırın, maske üzerindeki deseni fotoresiste aktarın ve cihazı veya devre yapısını geçici olarak silikon gofrete "kopyalayın".
Büyük uluslararası markalar: ASML (Hollanda), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Büyük yerli markalar: Çin Elektronik Teknoloji Grubu 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Shanghai Machinery Factory, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Reaktif İyon Aşındırma Sistemi (RIE)
Ekipman fonksiyonları: yüksek frekans gerilimi, iyon tabakası yüzlerce mikron kalınlığında üretmek için plaka elektrotları arasında uygulanır ve kimyasal reaksiyon gravür ve fiziksel etki elde etmek ve yarı iletken işleme ve kalıplama elde etmek için iyon yüksek hızlı darbe deseni desene yerleştirilir.
Büyük uluslararası markalar: Japonya Evatech Company, Amerika Birleşik Devletleri NANOMASTER şirketi, Singapur REC Şirketi, Güney Kore JuSung şirketi, Güney Kore TES Şirketi.
Büyük yerli markalar: Pekin Enstrüman Fabrikası, Pekin Qixing Huachuang Electronics Co, LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co, LTD., Çin Elektronik Teknoloji Grubu kırk sekizinci Enstitüsü.
11. ICP plazma gravür sistemi
Ekipman fonksiyonları: bir veya daha fazla gaz atomu veya molekül reaksiyon odasında karıştırılır, dış enerjinin etkisi altında (radyo frekansı, mikrodalga vb.) bir plazma oluşturmak için, bir yandan plazmadaki aktif grup ve kimyasal reaksiyon kazınacak yüzey malzemesi, uçucu ürünler üretir; Öte yandan, plazmadaki iyonlar, istikamet korozyonunun ve kazınmış yüzeyin hızlandırılmış korozyonunun meydana gelmek için önyargı basıncının etkisi altında yönlendirilir ve hızlanır.
Başlıca uluslararası markalar: Oxford Instruments (İngiltere), Torr (ABD), Gatan (ABD), Quorum (İngiltere), Leeman (ABD), Pelco (ABD).
Büyük yerli markalar: Pekin Enstrüman Fabrikası, Pekin Qixing Huachuang Electronics Co, Ltd, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48th Enstitüsü, Goder iyon Teknolojisi (Hong Kong) Holding Co, Ltd, Mikroelektronik Enstitüsü, Çin Bilimler Akademisi, Kuzey Mikroelektronik, Pekin Oriental Jicheng Co, Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, ıslak gravür ve temizleme makinesi
Ekipman fonksiyonu: Islak gravür, korozyon teknolojisi için gravür çözeltisinde ıslatılmış gravür malzemesidir. Temizlik, cihaz performansını etkileyebilecek, güvenilirlik sorunlarına yol açabilecek ve bir sonraki işlemin her katmanından önce veya bir sonraki katmandan önce kapsamlı temizlik gerektiren verimi azaltmaktır.
Başlıca uluslararası markalar: Screen(Japonya), SEMES(Kore), Tokyo Electron (Japonya), Lam Research (Amerika).
Büyük yerli markalar: Nantong Hualin Kona Yarı İletken Equipment Co, LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co, LTD., Çin Elektronik Teknoloji Grubu 45th Institute, Tayvan Hongsu.
13. İyon implantasyon Makinesi (IBI)
Ekipman fonksiyonu: yarı iletkenin yüzeyine yakın alana doping.
Başlıca uluslararası markalar: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. ve Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (AMAT tarafından satın alındı).
Büyük yerli markalar: Pekin Enstrüman Fabrikası, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48th Enstitüsü, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Hafif Sanayi Machinery Co, LTD., Şanghay Silikon Üst Mikroelektronik A.Ş.
14, prob test tezgahı
Cihaz fonksiyonu: Yarı iletken cihazın pedi ile prob teması sayesinde, yarı iletkenin performans indeksinin tasarım performans gereksinimlerini karşılayıp karşılamadığını kontrol etmek için elektrik testi yapılır.
Büyük uluslararası markalar: Almanya Ingun şirketi, QA şirketi, MicroXact şirketi, Ecopia şirketi, Leeno şirketi.
Büyük yerli markalar: Çin Elektronik Teknoloji Grubu 45th Enstitüsü, Pekin Qixing Huachuang Electronics Co, LTD., Ruike Instruments, Huarong Grubu, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Gofret inceltme makinesi
Fonksiyon: parlatarak gofret kalınlığını azaltın.
Uluslararası ana markalar: Japan DISCO Company, Germany G&N company, Japan OKAMOTO company, Israel Camtek company.
Büyük yerli markalar: Lanzhou Lanxin Yüksek teknoloji Industry Co, LTD., Shenzhen Fonda Taşlama Ekipmanları İmalat A.Ş., LTD., Shenzhen Jinzhili Hassas Taşlama Makinesi İmalat A.Ş., Ltd., Weianda Taşlama Ekipmanları Co, LTD., Shenzhen Huannifeng Technology Co, LTD.
16. Gofret Scribing Makinesi (DS)
Cihaz fonksiyonu: Gofret, Die'ın küçük parçaları halinde kesilir.
Büyük uluslararası markalar: Almanya OEG şirketi, Japan DISCO Company.
Büyük Yerli markalar: Çin elektronik teknoloji grubu, Pekin kechuang başlayarak kaynak fotoelektrik teknoloji co., LTD., shenyang enstrümantasyon teknolojisi enstitüsü, kuzeybatı makine co., LTD., (709 fabrika) kuzeybatı makine fabrikası var, hui sheng elektronik elektronik makine ve ekipman şirketi, lanzhou: lazer, bir yüksek teknoloji sanayi co., LTD., shenzhen yakut lazer ekipmanları co., LTD., Wu Hansan işçi, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Teknolojisi.
17. Tel Bonder
Cihaz fonksiyonu: Yarı iletken çip üzerindeki Ped'i pimi pimin üzerindeki ped ile iletken metal tel (altın tel) ile bağlayın.
Büyük uluslararası markalar: Amerikan Ottey, Alman TPT, Avusturya FK, Malezya UNISEM.
Büyük yerli markalar: Çin Elektronik Teknoloji Grubu 45th Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Entegre Devre Paketleme ve Test A.Ş., LTD. (Malezya Yunisan Yatırım), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.